PLR3000光纖激光尺測量儀分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000精密激光尺測量儀分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000激光尺測量儀是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵,光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時其熱源隔離設計,保證了更高的穩定性,具有安裝快捷,易于準直等特點。
PLR3000非接觸式高精度光纖激光尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。